国内半导体设备3 月招投标数据(仅限于已公布的数据)国内晶圆厂商招标数据：

华虹半导体：PVD+3 台，CVD+24 台，EPI+2 台，ECP+3 台，光刻机+1 台，干法刻蚀+24 台，湿法刻蚀+5 台，前道检测+5 台，前道计量+14 台，干法清洗+2台，湿法清洗+15 台，去胶+9 台，刷片机+3 台，CMP+4 台，退火+8 台，离子注入+11 台，氧化扩散+2 台，后道封装+6 台；上海积塔半导体：干法刻蚀+1 台，湿法刻蚀+1 台，涂胶显影+1 台，氧化扩散+15 台，探针台+7 台； 华润微：湿法刻蚀+2 台，湿法清洗+1 台；上海新微：PVD+1 台； 上海新硅聚合：CMP+1 台；福建晋华：CVD+1 台，前道计量+1 台； 燕东微电子：湿法清洗+7 台；国内设备厂商中标数据：

北方华创：PVD+4 台，干法刻蚀+6 台，湿法清洗+7 台，退火+7 台，氧化扩散+1 台； 盛美半导体：ECP+1 台，湿法清洗+5 台，去胶+5 台；沈阳拓荆：CVD+3 台； 上海微电子：退火+2 台，缺陷检测显微镜+1 台；华海清科：CMP+3 台； 中科信电子装备：离子注入机+1 台；中科飞测：前道检测+1 台； 新益昌：粘片机+121 台；半导体设备行业景气度数据：

半导体设备销售额2021-2023 年：全球分别为1030/1140/1134 亿美元，同比+44.4%/+11.2%/-0.8%(SEMI 21 年12 月预测)；中国大陆分别为288/343/363亿美元，同比+53.7%/+19.2%/+5.8%(光大证券研究所22 年1 月预测)。

2022 年3 月中国台湾半导体设备进口额为28.72 亿美元，同比增长0.35%；2021年12 月，北美半导体设备出货额为39.17 亿美元，同比增长46.10%。

半导体设备行业投资建议：建议关注上市公司包括北方华创、中微公司、盛美上海、至纯科技、华峰测控、长川科技、芯源微、万业企业(凯世通)、光力科技华兴源创、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASMPacific(H)。

半导体材料行业投资建议：建议关注上市公司包括神工股份、沪硅产业-U、立昂微、雅克科技、彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、华特气体、金宏气体。

风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。

（文章来源：光大证券）